2011. 04

법인설립
2011. 05

한국과학기술원 공동개발 협약
2011. 12

기업부설연구소 설립
2013. 03

Diffusion 기술 확보
2016. 02

ALD 원천기술 확보 및 검증 완료
2016. 06

하이닉스 협력업체 등록
2017. 06

벤처기업인증
2017. 07

권혁록 대표이사 취임

2017. 12

하이닉스 장비평가 시행