HISTORY
기업 부속 연구소 설립
Diffusion 기술확보
PE-ALD 원천 기술 확보 및 검증
Poly Etcher Plasma Source 기술개발
High speed ashing 개발
New hard mask removal 개발
EUV PR strip 개발
국책과제 EUV PR strip 상용화 장비개발 주관기업 선정
